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삼성, 국산 EUV 포토레지스트 첫 채택

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29 4305 17 2022.12.05 15:31

전자신문에 따르면 삼성전자는 반도체 공정 라인 생산을 위해 국내 국내 기업이 개발한 EUV 포토레지스트(EUV PR)를 활용했습니다. 일본이 EUV 포토레지스트 수출을 제한하자 한국의 동진쎄미켐이 EUV 포토레지스트 개발에 착수한 것으로 알려졌습니다. 그리고 지난해 삼성전자의 신뢰성 인증을 통과해 1년도 안 돼 생산라인에 적용했습니다. 하지만 생산라인은 삼성의 전체 제품라인 중 극히 일부에 불과하지만, 수입제품에 전혀 의존하지 않는 생산라인이기에 특별한 의미를 갖습니다. 삼성전자가 동진쎄미켐 EUV 포토레지스트를 추가 생산라인에 사용할지는 해외 공급업체 간 관계를 고려할 필요가 있어 불투명합니다. 포토레지스트는 반도체 노광 공정의 핵심 소재로 칩 생산에 사용되는 것으로 파악됩니다. 반도체 노광장비로 빛을 조사하면 화학반응이 일어나 물성이 변하고, 미세 회로는 필요한 부분만 남기고 현상액으로 PR을 씻어내어 그려집니다. 하드웨어에 미치고 유저들을 사랑하는 남자, 퀘이사존 최고운영자 지름입니다.본 뉴스는 해외 매체의 단순 번역본으로 퀘이사존의 주관적인 견해가 포함되지 않았음을 밝혀드립니다.여러분들이 남겨 주신 소중한 댓글.. 진심으로 감사드립니다. 원문 출처 <a href="https://news.mydrivers.com/1/877/877141.htm" target="_blank">mydrivers</a>

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